Equipement semi-automatique d'expansion de film

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Le modèle UH130 permet de séparer les puces après découpe de façon homogène pour faciliter le "pick & place" et les prélèvements » Accommode toute taille de wafer/frame jusqu'à 300mm, plateau chauffant pour assouplissement du film » Piston de 75mm de course verticale autorisant une forte expansion & verrouillage haut et bas pour différents types de frame » Options : Insertion automatique de l'anneau extérieur, découpe circulaire automatique

Références

UH130 : Equipement d'expansion jusqu'à 200mm

UH130-12 : Equipement d'expansion 300mm