Chuck à vide standard

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Chucks à vide pour équipement de délamination disponibles pour plaquettes de 3 à 6 pouces »: Le vide est distribué essentiellement au centre et ils conviennent donc bien pour des plaquettes d'épaisseur "normale" »: Pour des épaisseurs fines, les chucks pour wafers fins (multiples trous de vide) peuvent être mieux adaptés.

Références

CV10128003 : Chuck à vide pour plaquette jusqu'à 75mm

CV10128004 : Chuck à vide pour plaquette jusqu'à 100mm

CV10128005 : Chuck à vide pour plaquette jusqu'à 125mm

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Chuck à vide pour wafers fins

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Spécifique pour équipements de lamination/délamination de films adhésifs Composé de multiples trous de vide sur sa surface, répartissant ainsi le vide et par là même minimisant fortement le stress sur la plaquette » Des plaquettes d'épaisseur inférieure à 200µm peuvent ainsi être traitées sans risque » Les chucks sont disponibles jusqu'à 150mm de diamètre

Références

TWC0602063 : Chuck à vide pour wafers fins jusqu'à 75mm

TWC0602064 : Chuck à vide pour wafers fins jusqu'à 100mm

TWC0602066 : Chuck à vide pour wafers fins jusqu'à 150mm

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Enroulement pellicule protection

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Cet ensemble optionnel pour équipement de pose de films sur face active et équipements de montage de plaquettes sur film/frame permet d'enrouler la pellicule de protection sur une bobine secondaire en même temps que l'on déroule le film pour lamination sur le wafer La plupart des films propres ou UV sont équipés d'une pelliculle de protection en PET afin de protéger l'adhésif et garder au film son intégrité.

Références

9108014002 : Enroulement pellicule de protection standard

9108014003 : Enroulement pellicule de protection pour bobine de 7"

Options : Elimination de l'électricité statique

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Cet ensemble optionnel pour équipement de pose de films sur face active et équipements de montage de plaquettes sur film/frame permet de décharger l'électricité statique accumulée sur le film lors des opérations de déroulement et de protéger le wafer des surtensions accidentelles » Livrée avec transformateur Simco.

Références

9114703002 : Barre d'élimination de charges statiques version CE

Couteau de découpe circulaire pour équipements de pose de films adhésifs

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Le couteau est un accessoire des équipements de pose de films adhésifs sur face active de wafer, utilisé lors de la découpe du film plastique en suivant le contour du wafer. » L'équipement de pose de film permet d'ajuster la découpe afin d'éviter le contact avec le wafer » Le couteau est remplaçable en quelques secondes lorsque la qualité de découpe décroit » conditionnement par lot de 3, prix dégressif selon quantité.

Références

CC08175000 : Couteau pour découpe circulaire