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Categorie :
APPAREILS DE MESURE de résistivité de surface gamme semi-conducteurs
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 | Appareils pour labos & R&D & Petite Production. Positionnement de l'échantillon et mise en contact des pointes manuels, mesure manuelle ou automatique selon version
» Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
» La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley (fourni ou pas selon version)
» Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats
» Le système de base se compose d'une potence de maintien de la tête 4 pointes avec levier de descente et d'un plateau de réception de 4, 6 ou 8 pouces
++ Voir tous les systèmes 4 pointes
++ Theory & Complements see www.four-point-probe.eu |
| Références |  Pro44000N : Stand manuel avec software, sans pc & K2400 |
| Pro44400N : Système manuel avec soft & Keithley 2400, sans pc |
| Pro4440N : Système complet manuel avec soft & Keithley 2400 + PC |
|  L'affichage est limité à 3 Références / Produit |
 | De 1 milliohm à 8E11ohm/carré, manuel (1pt, 5 pts), ou semi-automatique cartographie et analyse jusqu'à 6000 points selon modèle
» Gamme de mesure standard et étendue,
» Windows XP OS,
» Stockage et récupération des valeurs de mesure,
» Fonctions de recherche de résultats évoluées,
» Cartes de mesure polaires et rectangulaires, jusqu'à 650 points de mesure, scan de diamètre, Sites de tests "custom",
» Compensation d'effet de bord, » Détection automatique de la polarité....
Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins en terme de qualification de résistance de couche , que ce soit en R & D et manuel ou en mode production.
++ Voir tous les systèmes 4 pointes
++ Theory & Complements see www.four-point-probe.eu |
| Références | 280PI : Appareil manuel upgradable |
| 280PCI : Appareil manuel avec clavier de programmation |
| 280SI : Appareil semi-automatique & Cartographie |
| L'affichage est limité à 3 Références / Produit |
 | Le système de base se compose d'une potence de maintien de la tête de tests avec levier de descente et d'un plateau de réception pour wafer de 4, 6 ou 8 pouces
» Le positionnement de l'échantillon est manuel ainsi que la mise en contact de la tête 4 pointes sur l'échantillon
» Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
» La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley qui peut faire partie de la fourniture ou pas
» Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats, Voir Pro44xx
» Parfait pour pour laboratoires, universités, centres de recherche...dans le domaine caractérisation de matériaux
++ Voir tous les systèmes 4 pointes |
| Références | S302-x : Stand pour mesure de résistivité |
| |  | La série 680 se compose de systèmes de mesure de résistivité semi-automatique pour matériaux bande III-V et autres substrats non mesurables par appareil classique
» Mesures 1point, 5points ou cartographie complète
» Chargement de l'échantillon manuel, déplacement et séquence de mesure (et détermination de la gamme de courant) automatiques
» Le modèles 680I inclut un ordinateur et un logiciel permettant de faire des cartographies sur un très grand nombre de points
» Le signal est modulé AC afin de contrecarrer la résistance de contact des compounds
++ Voir tous les systèmes 4 pointes
++ Theory & Complements see www.four-point-probe.eu |
| Références | 680PI : Résistivimètre pour matériaux III-V sans PC |
| 680I : Appareil série 680 pour matériaux III-V avec PC |
| |  | Cette configuration spécifique pour la caractérisation des Ultra-Shallow-Junctions est disponible sur les appareils de :
» Série 280 (280SI et TCI)
» Série 233 pour wafer 200mm
» Série 333 pour wafer 200 à 300mm
», Appareils à contact mercure modèle CVRmap 3093A, modèle CVRmap 3093B, modèle M4PP3093
» Mesure du courant de fuite de la jonction PN (S/cm2)
» Mesure de la résistivité de contact (Ohm-cm2)
» Photo montrée à titre d'exemple |
| |  | Appareil automatique Cassette-cassette ou SMIF/FOUP, de 1 milliohm à 8E5ohm/carré (10E9 ou 10E11 en option), plaquettes 6 et 8", Pas de robot (end-effector), Windows OS
» Stockage et récupération des valeurs de mesure, fonctions de recherche de résultats évoluées, Cartes de mesures polaires et rectangulaires, jusqu'à 6000 points, scan de diamètre
» Sites de tests "custom", compensation d'effet de bord, détection automatique de la polarité....
Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins de production en terme de qualification de résistance de couche
++ Voir tous les systèmes 4 pointes |
| Références | 233AC : Appareil de mesure de résistivité automatique à cassette |
| 233AS : Appareil de mesure de résistivité automatique avec SMIF |
| |  | Gamme 12" (300mm) à chargement manuel ou Cassette-cassette ou SMIF/FOUP
»Mesure de 1 milliohm à 8E5ohm/carré (10E11 option), pas de robot ds les modèles à chargement automatique (end-effector), Windows OS,
» Stockage et récupération des valeurs de mesure, fonctions de recherche de résultats évoluées,
» Cartes de mesure polaires et rectangulaires, jusqu'à 650 points de mesure, scan de diamètre, Sites de tests "custom", compensation d'effet de bord, détection automatique de la polarité....
» En option : Tourelle automatique pour sélection de tête 4 pointe, caméra pour alignement sur le wafer,
Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins de production en terme de qualification de résistance de couche
++ Voir tous les systèmes 4 pointes |
| Références | 333A : Automatique à chargement manuel |
| 333AC : Automatique avec cassette 8" ou 12" |
| 333AF : Automatique avec chargement FOUP |
| |  | Mesure automatique de résistivité par tête 4 pointes) pour panneaux LCD, TFT...jusqu'à 1m de dimensions et toute dimension spécifique
» Gamme 1milliohm à 800kohm/carré (optionnel 8E11)
» Inclut la table de positionnement de l'échantillon et les fixations, l'équipage mobile avec tête de mesure 4 pointes, le contrôle par PC et le logiciel de mesure et acquisition avec cartographie et graphes 3D
» Permet de mesurer l'homogénéité des couches avec différents types de patterns de mesure,
» Version manuelle disponible
++ Voir tous les systèmes 4 pointes |
| Références | 1100SI : Appareil automatique panneaux & LCD |
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