Gamme de température (°C) ------------- Indifférent ------------- Ambiant à +600°C +25°C à +400°C +25°C à +350°C +25°C à +300°C +25°C à +200°C +25°C à +550°C +25°C à +500°C +25°C à +450°C Ambiant à +300°C selon modèle -65°C à +300°C selon modèle -65°C à +300°C -65°C à +200°C -25°C à +150°C suivant liquide utilisé Taille du chuck ------------- Indifférent ------------- 100mm, 150mm, 200mm, 300mm 100mm 150mm 200mm 300mm 200mm ou 300mm 150mm ou 200mm 150mm, 200mm, 300mm (mm)

Chuck thermique chauffant

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Chuck chauffant ultra rapide pour plaquettes et substrats de 150 à 300mm » La gamme de température va de l'ambiant à +600°C » Refroidissement par conduction naturelle (T>350°C) puis par eau » Contrôle de la température par face avant ou GPIB » Options disponibles : montage sur stations de tests sous pointes ou utilisation séparée, version triaxiale ultra-faible courant..

Références

S1060R100mm : Chuck de 100mm

S1061R100mm : Chuck de 100mm

S1060H100mm : Chuck de 100mm

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Chuck thermique chaud /froid

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Avec une plage de température comprise entre -65°C et +300°C, ce chuck thermique tri temp permet une caractérisation en température complète des dispositifs. » Contrôle de la température par face avant ou GPIB » Rapidité de changement d'état (chaud / froid) » Possibilité de chauffage par rampe » Chambre locale isolée avec soufflage d'azote ou d'air sec pour les températures négatives

Références

S1070C200mm : Chuck de 200mm

S1070C300mm : Chuck de 300mm

Chuck thermique chauffant avec rampe

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Chuck thermique avec rampe de chauffage, utilisé lors de caratérisation en température avec pointes en contact » Réglage des paliers de température par face avant ou GPIB » La gamme de température va de l'ambiant à +300°C » Gestion des paramètres de montée en température et programmation de paliers » Stabilité et précision des pointes en contact durant la phase chauffante

Références

S1070A200mm : Chuck de 200mm

S1070A300mm : Chuck de 300mm

Chuck thermique chauffant haute tension

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Le chuck thermique haute tension, peut être utilisé lors de caratérisation en température d'ambiante à 300°C » Des tensions de l'ordre de 2000V (1ms max) peuvent être appliquées à la T° ambiante » La tension max applicable diminue avec la température, environ 1400V à 300°C » La capacité du chuck est typiquement inférieure à 250pF

Chuck fluidique de haute précision

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Ce chuck chauffant de précision est particulièrement utile lors de caractérisation en température où la moindre variation est critique (application cristaux liquides & analyses de défaillances...) » Le chuck fluidique offre une uniformité en température spécifiée à 0,1°C dans une gamme de ambiante à 85°C » La gamme de température va de -25°C à +150°C (l'usage de températures négatives nécessite une chambre locale isolée avec soufflage d'azote ou d'air sec)

Chuck thermique triaxial ultra-faible-courant

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Le chuck à technologie triaxiale permet d'effectuer des mesures de très faible courants de l'ordre du Femtoampère. » Très faible bruit, grande resistance d'entrée » Possibilité de caractérisation thermique tri temp (-65°C à +300°C) » Le chuck triaxial est disponible avec la plupart des contrôleurs de température permettant pour certain une grande souplesse de programmation (paliers, rampes...)

Références

S1060150mmXG : Chuck de 150mm

S1060200mmXG : Chuck de 200mm

S1070A200mmXG : Chuck de 200mm

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