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Categorie :
B - MESURE DE RESISTIVITE PAR METHODE 4 POINTES
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 | Appareils pour labos & R&D & Petite Production. Positionnement de l'échantillon et mise en contact des pointes manuels, mesure manuelle ou automatique selon version
» Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
» La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley (fourni ou pas selon version)
» Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats
» Le système de base se compose d'une potence de maintien de la tête 4 pointes avec levier de descente et d'un plateau de réception de 4, 6 ou 8 pouces
++ Voir tous les systèmes 4 pointes
++ Theory & Complements see www.four-point-probe.eu |
| Références |  Pro44000N : Stand manuel avec software, sans pc & K2400 |
| Pro44400N : Système manuel avec soft & Keithley 2400, sans pc |
| Pro4440N : Système complet manuel avec soft & Keithley 2400 + PC |
|  L'affichage est limité à 3 Références / Produit |
 | De 1 milliohm à 8E11ohm/carré, manuel (1pt, 5 pts), ou semi-automatique cartographie et analyse jusqu'à 6000 points selon modèle
» Gamme de mesure standard et étendue,
» Windows XP OS,
» Stockage et récupération des valeurs de mesure,
» Fonctions de recherche de résultats évoluées,
» Cartes de mesure polaires et rectangulaires, jusqu'à 650 points de mesure, scan de diamètre, Sites de tests "custom",
» Compensation d'effet de bord, » Détection automatique de la polarité....
Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins en terme de qualification de résistance de couche , que ce soit en R & D et manuel ou en mode production.
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| Références | 280PI : Appareil manuel upgradable |
| 280PCI : Appareil manuel avec clavier de programmation |
| 280SI : Appareil semi-automatique & Cartographie |
| L'affichage est limité à 3 Références / Produit |
 | Le système de base se compose d'une potence de maintien de la tête de tests avec levier de descente et d'un plateau de réception pour wafer de 4, 6 ou 8 pouces
» Le positionnement de l'échantillon est manuel ainsi que la mise en contact de la tête 4 pointes sur l'échantillon
» Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
» La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley qui peut faire partie de la fourniture ou pas
» Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats, Voir Pro44xx
» Parfait pour pour laboratoires, universités, centres de recherche...dans le domaine caractérisation de matériaux
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| Références | S302-x : Stand pour mesure de résistivité |
| |  | La série 680 se compose de systèmes de mesure de résistivité semi-automatique pour matériaux bande III-V et autres substrats non mesurables par appareil classique
» Mesures 1point, 5points ou cartographie complète
» Chargement de l'échantillon manuel, déplacement et séquence de mesure (et détermination de la gamme de courant) automatiques
» Le modèles 680I inclut un ordinateur et un logiciel permettant de faire des cartographies sur un très grand nombre de points
» Le signal est modulé AC afin de contrecarrer la résistance de contact des compounds
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| Références | 680PI : Résistivimètre pour matériaux III-V sans PC |
| 680I : Appareil série 680 pour matériaux III-V avec PC |
| |  | Cette configuration spécifique pour la caractérisation des Ultra-Shallow-Junctions est disponible sur les appareils de :
» Série 280 (280SI et TCI)
» Série 233 pour wafer 200mm
» Série 333 pour wafer 200 à 300mm
», Appareils à contact mercure modèle CVRmap 3093A, modèle CVRmap 3093B, modèle M4PP3093
» Mesure du courant de fuite de la jonction PN (S/cm2)
» Mesure de la résistivité de contact (Ohm-cm2)
» Photo montrée à titre d'exemple |
| |  | Le système MR1 utilise un contact 4 points pour mesurer une compatibilité électromagnétique de couches métalliques déposées sur une surface plastique
» Préférentiellement l'épaisseur de la couche est affichée mais d'autres paramètres sont possible aussi (résistivité...)
» Le système inclut 14 pré-programmes de matériau qui peuvent être sélectionnés directement pour la mesure
» Gamme d'épaisseur mesurable 1µm à 100µm.
» L'ensemble inclut une pointe spéciale à 4 contacts pour la mesure
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| |  | Ce système de résistivité portable permet la mesure sur différents matériaux, de taille variable. Grace à son fonctionnement sur pile, il peut être utilisé partout.
» 4 modèles/gammes de mesure disponibles avec calibrateur adapté
» Tête 4 pointes interchangeable
» Applications : Conductivité/résistivité de couches sur panneaux de grandes dimensions, fuselages, carrosseries...Ou en mesure totalement mobile sur site extérieur
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| L'affichage est limité à 3 Références / Produit |
 | Système de mesure de haute résistivité par l'association d'une boîte noire éliminant les radiations magnétiques et les perturbations liées à la lumière et d'un appareil Keithley 2636
» Cet ensemble permet la mesure de très faibles courants au niveau du femto-ampère jusqu'à 1,5A et des tensions de 1µV à 200V
» La boîte noire existe en plusieurs tailles selon dispositifs à mesurer
» En option : Le contrôleur de température permet de programmer ces mesures avec des cycles de chauffe selon les applications
» Les connexions peuvent être sur mesure, triax ou coax
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| |  | Gamme de mesure de 1 milliohm à 8E9 (8E11 optional) ohm/carré, en mode manuel (1pt, 5 pts), ou semi-automatique cartographie et analyse jusqu'à 6000 points
» Fonctions de recherche de résultats évoluées (stockage et récupération des valeurs de mesure)
» Cartes de mesure polaires et rectangulaires, jusqu'à 650 points de mesure, scan de diamètre, Sites de tests "custom",
» Compensation d'effet de bord, » Détection automatique de la polarité....
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| |  | Système de mesure sous pointes gamme très faible résistivité, associant des appareils Keithley 2611, 2182A et un stand de mesure 4 pointes
» Le système S302K-LRM permet de mesurer des résistivités de l'ordre de 50 nohms/carrée.
» Programmes stockés en interne, sans nécéssité de pc extérieur
» Gamme de mesure de 50 nohms/carré à 800 Kohms/carré
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| |  | Ces substrats de calibrage sont fournis étalonnés avec un certificat de calibrage, ils sont agrées "NIST" (National Institute of Standard and Technology / www.nist.gov )
»
Disponibilité : Les wafers 3" (75mm) sont tous disponibles dans les spécifications de résistivité mentionnées sur le document téléchargeable, pour les autres dimensions nous consulter
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| |  | Résistivimètre méthode 4 pointes à contact mercure notamment adapté pour la mesure de résistance de couche sur les implantations de type USJ (Ultra-shallow Junction) et particulièrement sur les substrats fortement dopés ou sur les couches extrêmement fragiles
Le contact mercure permet un contact métallique souple contrairement aux méthodes par pointes
» Test non destructif & Contact à pression nulle
» Surface de contact parfaitement reproductible, Conception "sécurité absolue"
» Rafraichissement du mercure avant chaque tests
» Changement de réservoir une à deux fois par an selon usage
» Pour wafers et substrats jusqu'à 12" (300mm)
» Voir aussi modèle CVRmap 3093A et modèle CVRmap 3093B
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| |  | Tête 4 pointes pour mesure de résistivité. Utilisable sur équipements de la série 280, 233, 333, 680 et séparément
» Pointes Tungstène ou Osmium avec pression ajustable
» Espacements de pointes standard 1 mm
» Finesse de bout des pointes de 25µm à 500µm selon modèle
» Livrée avec connecteur pour cablage direct
» Pour températures ambiantes uniquement, hautes températures voir
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| Références | 4PPH-cyl-N : Tête 4 pointes cylindrique, Tungstène, 500 µm |
| 4PPH-cyl-C : Tête 4 pointes cylindrique, Osmium, 100 µm |
| 4PPH-cyl-A : Tête 4 pointes cylindrique, Tungstène, 25µm |
| L'affichage est limité à 3 Références / Produit |
 | Tête 4 pointes pour température ambiante ou haute température (600°C), utilisable sur équipements de la série Pro4 et Quadpro et séparément.
» Matériau des pointes tungstène ou Osmium
» Grand choix d'espacements de pointes (pitch), finesses de bout et pression des pointes
» Terminaisons fils volants, fiches banane, BNC, cables triaxiaux, connecteur 9 broches
++ Voir tous les systèmes 4 pointes
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| Références | SP440045TR(T) : Tête 4 pointes en ligne, Tungstène, 1mm, 45g, Terminaisons à spécifier |
| SP450045TR(T) : Tête 4 pointes en ligne, Tungstène, 1,27mm, 45g, Terminaisons à spécifier |
| SP462045TR(T) : Tête 4 pointes en ligne, Tungstène, 1,6mm, 45g, Terminaisons à spécifier |
| L'affichage est limité à 3 Références / Produit |
 | Mesure de résistivité 4 pointes à l'aide d'une station de test sous pointes
Ce micropositionneur spécial se fixe sur le plateau de la station comme un autre positionneur (par vide ou magnétique) et son bras permet de monter une tête 4 pointes de type semi-cylindrique
» Mouvement X-Y-Z indépendant & Coplanarité ajustable
» Fixation par base magnétique ou à vide
++ Voir les stations de probing pour utilisation |
| Références | S96MWMMS-4 : Micropositionneur pour tête 4 pointes base magnétique |
| S96MWVMS-4 : Micropositionneur pour tête 4 pointes base à vide |
| |  | Logiciel livré avec les appareils de la série 280, 233, 333, 680. Ne fonctionne pas sur autres matériels
Permet les cartographies polaires ou rectangulaires jusqu'à 600 points, Tests plaquette entière ou partielle, graphe couleur 2D et contour 3D, calcul moyenne et écart-type... et un grand nombre de paramètrages
Mesures rapides 1, 5, 9 points, scan diamètre, ASTM/SEMI X patterns, cartographie "custom" jusqu'à 5000 points, pattern ronds et rectangulaires, correction d'épaisseur et d'effet de bord, correction de température (option)
Unités de mesure: résistance de couche ohm/carré, résistivité ohm-cm, résistance V/I, épaisseur(micron), épaisseur (Angstroms) , changement d'unité rapide, stockage des données de mesure et des résultats, détection du sens P/N, test de reproductibilité de mesure, Export des données sous ASCII ou Excel ou LAN, diagnostic... |
| |  | Appareil automatique Cassette-cassette ou SMIF/FOUP, de 1 milliohm à 8E5ohm/carré (10E9 ou 10E11 en option), plaquettes 6 et 8", Pas de robot (end-effector), Windows OS
» Stockage et récupération des valeurs de mesure, fonctions de recherche de résultats évoluées, Cartes de mesures polaires et rectangulaires, jusqu'à 6000 points, scan de diamètre
» Sites de tests "custom", compensation d'effet de bord, détection automatique de la polarité....
Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins de production en terme de qualification de résistance de couche
++ Voir tous les systèmes 4 pointes |
| Références | 233AC : Appareil de mesure de résistivité automatique à cassette |
| 233AS : Appareil de mesure de résistivité automatique avec SMIF |
| |  | Gamme 12" (300mm) à chargement manuel ou Cassette-cassette ou SMIF/FOUP
»Mesure de 1 milliohm à 8E5ohm/carré (10E11 option), pas de robot ds les modèles à chargement automatique (end-effector), Windows OS,
» Stockage et récupération des valeurs de mesure, fonctions de recherche de résultats évoluées,
» Cartes de mesure polaires et rectangulaires, jusqu'à 650 points de mesure, scan de diamètre, Sites de tests "custom", compensation d'effet de bord, détection automatique de la polarité....
» En option : Tourelle automatique pour sélection de tête 4 pointe, caméra pour alignement sur le wafer,
Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins de production en terme de qualification de résistance de couche
++ Voir tous les systèmes 4 pointes |
| Références | 333A : Automatique à chargement manuel |
| 333AC : Automatique avec cassette 8" ou 12" |
| 333AF : Automatique avec chargement FOUP |
| |  | Mesure automatique de résistivité par tête 4 pointes) pour panneaux LCD, TFT...jusqu'à 1m de dimensions et toute dimension spécifique
» Gamme 1milliohm à 800kohm/carré (optionnel 8E11)
» Inclut la table de positionnement de l'échantillon et les fixations, l'équipage mobile avec tête de mesure 4 pointes, le contrôle par PC et le logiciel de mesure et acquisition avec cartographie et graphes 3D
» Permet de mesurer l'homogénéité des couches avec différents types de patterns de mesure,
» Version manuelle disponible
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| Références | 1100SI : Appareil automatique panneaux & LCD |
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