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 | UH130 (id :: 2324) | | Equipement d'expansion jusqu'à 200mm |
| | Informations techniques | | Taille max des plaquettes | 200 | | Type de wafers & Substrats acceptés | 3, 4, 5, 6, 8" avec adapteurs optionnels |
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 | UH130-12 (id :: 2325) | | Equipement d'expansion 300mm |
| | Informations techniques | | Taille max des plaquettes | 300 | | Type de wafers & Substrats acceptés | 300mm, autre nous consulter |
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